Doanh thu của ASML HOLDING NV trong năm ngoái lên tới 25.29 B CHF, phần lớn trong số đó — 8.30 B CHF — đến từ nguồn có hiệu suất cao nhất vào lúc này, Extreme Ultraviolet, năm trước mang lại 6.85 B CHF. Đóng góp lớn nhất vào con số doanh thu là của Đài Loan — năm ngoái quốc gia này đã mang lại ASML HOLDING NV 7.35 B CHF, và năm trước đó — 7.87 B CHF.