Doanh thu của ASML HOLDING NV trong năm ngoái lên tới 27.56 B EUR, phần lớn trong số đó — 9.12 B EUR — đến từ nguồn có hiệu suất cao nhất vào lúc này, Extreme Ultraviolet, năm trước mang lại 7.05 B EUR. Đóng góp lớn nhất vào con số doanh thu là của Đài Loan — năm ngoái quốc gia này đã mang lại ASML HOLDING NV 8.07 B EUR, và năm trước đó — 8.10 B EUR.