Doanh thu của ASML Holding N.V. trong năm ngoái lên tới 28.26 B EUR, phần lớn trong số đó — 9.67 B EUR — đến từ nguồn có hiệu suất cao nhất vào lúc này, Argon Fluoride Immersion, năm trước mang lại 9.02 B EUR. Đóng góp lớn nhất vào con số doanh thu là của Trung Quốc — năm ngoái quốc gia này đã mang lại ASML Holding N.V. 10.20 B EUR, và năm trước đó — 7.25 B EUR.